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发布时间:2020-10-25 05:56:23
LaAlO3晶体因其与超导、铁电、Mn氧化物巨磁电阻薄膜等有良好的晶格匹配性能,因而被广泛地用作生长外延薄膜的衬底材料.LaAlO3晶体在560℃附近要发生结构相变,从高温时的立方结构变为常温时的三方结构。由于相变的存在,LaALO3晶体中出现了复杂的畴结构,这种缺陷影响 LaAlO3晶格完整性和其作为衬底材料的性能。为了提髙此晶体的质量,人们进行着包括退火、掺杂等在内的各种探索。
铝酸镧抛光情况:单抛或双抛 (lt;110gt; Ralt;15A,lt;100gt;和lt;111gt; Ralt;5A)。铝酸镧具有大的禁带宽度(5-6eV),高的介电常数值(~25)和很好的热稳定性使其成为替代Si基1金属-氧化物-半导体场效应晶体管中SiO2的***佳替代材料。LaAlo3晶体的颜色与原料的纯度有着直接关系。若采用纯度≤99.9%原料或在生长过程中原料被污染,长出的晶体颜色较深,甚至是茶色。但采用高纯原料≥99.999%料时,长出的晶体呈浅***,且在真空气氛下退火,颜色更淡,近似白色。
LaAlo3晶体是以一定化学配比的La2O3和A2O3为原料,在2100℃下用提拉法生长的,然后经标准工艺切割和抛光制成5×10m2的 LaAlo3晶片,晶向为[01].无退火的LaAO3晶体呈淡***透明,在氧气氛下退火后呈棕色。
LaAlO3在常温下结构的空间群为R3c,晶格参数为a=0.5357nm和a=60°6′。LaAlO3晶体是以定化学配比的La2O3和Al2O3为原料,在200℃下用提拉法生长的,然后经标准工艺切割和抛光,制成5×10mm2的LaAlO3晶片,晶向为[001]。
由于大尺寸 铝酸镧(LaAlO3)晶体生长后热应力和后期切割、研磨所产生的机械应力较大,加上晶棒的颜色较深。因此要消除上述因素,必须对晶体进行退火处理。LaAlO3晶体尺寸(可按照客户需求,定制特殊尺寸)10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 dia1″×0.5、dia2″×0.5等。 标准包装:1000级超净室100级超净袋或单片盒装。
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